本計畫將推動下一個十年半導體產業所需的前瞻元件與電路、材料、製程檢測技術之先期布局，以「科學超前佈署」的創新思維，突破現有框架的創新解決方案，探索2030年等效次奈米半導體量產技術之關鍵問題，維持台灣半導體產業持續領先的地位。