A世代半導體計畫
計畫概述
為了保持台灣半導體產業全球領先的優勢，本計畫將推動半導體產業下一個十年所需的前瞻元件與材料、先進製程檢測技術技術的先期布局，探索突破現有框架的創新解決方案。
使命與願景
半導體產業為台灣的支柱與優勢產業，為國家經濟與安全的基石，然而我們的優勢也持續面臨挑戰，不僅世界各國傾力扶植相關產業，相關技術也逐漸面臨物理極限，本計畫期望探索出可解決2030年等效次奈米半導體量產技術所需之關鍵問題的方案，以維持台灣半導體產業持續領先的地位。
計畫辦公室
推動辦公室之工作為規劃執行策略與機制、組成專家諮詢委員會、國內外產學研界技術交流活動、持續研發奈米等級半導體製程與晶片系統所需相關技術，以支持台灣目前在全世界佔有舉足輕重地位的半導體產業鏈，持續成為國家經濟與安全的基石。
預期目標與效益
本計畫欲投入前瞻低維半導體材料與元件關鍵技術開發，並突破半導體晶片技術的發展。除了發展Å尺度檢測技術外、也以開發新穎低維半導體材料技術為基礎，將開發關鍵元件技術作為目標；在半導體晶片技術發展方面，期望達成超高密度三維積體電路技術、與極低能耗元件與運算架構兩大關鍵技術開發。