半導體技術節點隨著摩爾定律(Moore’s Law)不斷地遞進，近年來，電晶體元件尺寸儼然已經來到可微縮的物理極限，因此電晶體元件結構也由傳統二維平面式發展為三維立體式結構，例如：鰭式通道結構(Fin)和環狀閘極結構(Gate-All-Around)等，並且進入了超越摩爾定律(More…